等离子清洗机，表面改性热处理 碎火晶圆晶圆去除照片灯与传统设备相比，晶圆光印等离子清洗机更便宜，在清洗过程中会发生蒸汽凝聚反应，不消耗水资源，也不需要使用更昂贵的有机溶剂，传统的整体成本低于湿法清洗工艺。此外，等离子清洗机解决了湿法去除晶圆表面光刻胶的缺点，如反应不准确、清洗不完全、易引入杂质等。它
